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离子敏感场效应晶体管怎样把pH变化转成电信号


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离子敏感场效应晶体管简称ISFET,用于感测溶液中的离子变化。其源极和漏极与普通MOSFET相似,但金属栅极位置由离子敏感膜、电解质和参比电极组成的界面体系取代,溶液状态因而能影响器件电流。

以氢离子感测为例,氧化物表面的羟基可以接受或释放质子,改变表面电荷与电势,进而使阈值电压随pH变化。常见敏感材料包括二氧化硅、氮化硅、氧化铝和氧化钽,位点结合模型用于描述这些界面关系。

ISFET在1970年问世,成为早期BioFET技术之一。它有小型化潜力,却仍依赖稳定参比电极,传统参比结构的体积、脆弱性与液体泄漏问题可能限制整套传感器尺寸。因此,缩小晶体管本身并不等于完整测量系统已经足够微型。

资料依据:维基百科《离子敏感场效应晶体管》及该页贡献者(修订记录)。本文重组论述并改写表达;依Creative Commons Attribution-Share Alike 4.0提供。

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